小 角 散 乱
小角散乱で粒子サイズや膜厚がわかります
小角散乱は、試料からの極低角度の散乱X線を計測することにより、膜厚や粒子径などのナノメートルオーダーの情報を知ることができます。
MIRRORCLE-CVシリーズを光源とする装置では、ターゲットを交換することにより、任意の特性X線を利用することができます。
分析例 ：
Moターゲット：Mo-Kα線 (17.48 keV)
を利用して
（左）アルミ蒸着膜(78.2 nm)の反射率測定
（右）シリコンの反射率測定結果
分析例 ： 金の微小粒子の粒径測定
| 光源 | MIRRORCLE-CV1 |
| X線エネルギー | 10〜25keV |
|
測定方法
|
角度分散 または エネルギー分散 |
| 光学系 | 3スリット光学系 |
| 試料形態（膜厚測定） | キバンへの蒸着膜など |
| 試料形態（粒度） | 粉末 |
| 試料サイズ | 要相談 |
| 測定範囲 | 数十nm〜数百nm |