残 留 応 力 測 定
金属内部の残留応力を測定します
機械部品や構造物などの残留応力をX線の回折現象を利用して計測します。
MIRRORCLEでは高エネルギーの白色X線を利用することができるので、深部まで非破壊で測定できます。またエネルギー分散方式で測定するため、複雑な形状のものでも測定可能です。
分析例 ： 歯車の残留応力測定
特定深さにおける回折X線をサンプル角度を変えて計測し、エネルギーのシフト量から応力を求めます。
ヘリカルギアの歯面（0.2mm深さ）で測定したFe(110)回折ピークのグラフ（中央）と残留応力を示します。（右図）深さ0.2mmで引っ張り応力が圧縮応力に転じているのがわかります。
分析例 ： ひずみゲージで与えた応力の測定
| 光源 | MIRRORCLE-CV1 |
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Ｘ線エネルギー |
10〜100keV |
| 光学系 | 平行光学系 |
| 検出器 | Ge半導体検出器 |
| 試料形状 | 任意 |
| Ｘ線ビーム径 | 500μm以下（※） |
| 測定領域 | 1cm以下（※） |
| 最大測定可能深さ | 鉄で1mm以下（※） |
| 深さ分解能 | 1μm以上（※） |
※測定条件による